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微热板芯片
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MEMS 微热板
高一致性、控温准确、可定制
产品特性：

● 集成微型加热器和叉指电极
● 悬膜式结构
● 面积小，利于集成
● 功耗低
● 可靠性高
● 控温准确

应用：

● 各种 MEMS 气体传感器
● 实验设备

技术参数表
项目 典型值
常温电阻 45±5Ω
加热原件材料 Pt
测量原件材料 Pt
典型加热电压 1.5V
寿命 >10 years (@1.5V)
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