2021年7月,公司正式发布MEMS微热板,此型号微热板具有如下特性:
● 集成微型加热器和叉指电极
● 悬膜式结构
● 面积小,利于集成
● 功耗低
● 可靠性高
● 控温准确
此系列芯片可以广泛应用于各种 MEMS 气体传感器以及实验设备。